ML-180

Установка предназначена для атомно-слоевого осаждения и травления, преимущественного для проведения научно-исследовательских работ, а также для мелкосерийного производства. В качестве подложки могут быть использованы разнообразные тонкие подложки типа кремния, сапфира, металлические подложки и т.д. Также возможно напыление покрытий на объемные образцы. В установке ML-180 используются преимущественно российские комплектующие от известных отечественных производителей.

Categories: