Данный аппарат предназначен для научно-исследовательских работ, АСО, МСО и АСТ. Объем рабочего пространства камеры – 1500 см3, общий внутренний диаметр – 179 мм см и высота – 100 мм. Максимальная температура подложки – 250˚C. Пленки могут осаждаться как на плоских подложках (кремниевые подложки диаметром до 140 мм), так и дисперсных материалах (в специальном держателе). В стандартной конфигурации возможно осаждение разнообразных пленок и их смесей, с использованием до 4 прекурсоров одновременно.